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EBARA荏原

干式真空泵

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直營(yíng)?。BARA荏原半導(dǎo)體用干式真空泵

直營(yíng)??！EBARA荏原半導(dǎo)體用干式真空泵 EV-S50P/N
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

更新時(shí)間：2025-03-22
產(chǎn)品型號(hào)：EV-S50P/N
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
訪問(wèn) 量：123

立即咨詢(xún)

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

直營(yíng)！！EBARA荏原半導(dǎo)體用干式真空泵 EV-S50P/N

直營(yíng)??！EBARA荏原半導(dǎo)體用干式真空泵 EV-S50P/N

EV-S型

節(jié)能、節(jié)省空間的干式真空泵

節(jié)能

緊湊輕便

耐腐蝕材料選項(xiàng)

提供 N2 吹掃型號(hào)

不同頻率下性能相同（50/60Hz）

無(wú)油

符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

我們的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和空轉(zhuǎn)功能實(shí)現(xiàn)了高水平的節(jié)能和緊湊性。這有助于降低運(yùn)行成本。

此外，還提供耐腐蝕材料選項(xiàng)，可用于廣泛的應(yīng)用，從輕負(fù)載應(yīng)用（例如負(fù)載鎖和 SEM）到腐蝕過(guò)程。

規(guī)格

模型

單元

EV-S20

EV-S20P/N

EV-S30

EV-S30P

EV-S50

EV-S50P/N

EV-S100

EV-S100P/N

EV-S200

EV-S200P/N

抽氣速度

升/分鐘

1,670

3,300

5,000

10,000

20,000

極限壓力

帕

0.5

1.0

0.5

連接尺寸

進(jìn)氣

NW50

NW80

NW100

排氣口

NW25

NW40

極限壓力下的近似功率值

千瓦

0.4

0.55

0.65

0.75

冷卻水

流動(dòng)

升/分鐘

1.5~3.0

2.0~3.0

溫度

℃

最多 30

氮?dú)?/td>

流動(dòng)

帕•立方米/秒

17–20 (2.4)

電源相位/電壓/頻率

200V 型號(hào)

三相/200-220V，50/60Hz

400V 型號(hào)

三相/380-440V，50/60Hz

供電容量

千伏安

3.2

3.6

4.8

6.4

6.8

近似質(zhì)量

公斤

100

120

170

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