ULVAC愛發(fā)科 LS 系列螺桿型干泵真空泵

ULVAC愛發(fā)科 LS 系列螺桿型干泵真空泵
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。
以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中，您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產品詳情

ULVAC愛發(fā)科 LS 系列螺桿型干泵真空泵

特點

大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。

■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，

　這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）

■C規(guī)格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發(fā)科技術。

　該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)

■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本

用途

LS系列有兩種規(guī)格。

首先是面向清潔工藝的規(guī)格。

為內置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。

具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。

具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。

具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格